Вплив лазерного випромінювання на структуру та оптичні властивості аморфних плівок системи миш’як–сурма–сірка

Анотація.

Наведені результати досліджень структури і спектрів пропускання плівок системи As-Sb-S з вмістом сурми до 12 ат.%, впливу на них лазерного опромінення, умов формування рельєфних зображень з шириною елементів 0.15–0.70 мкм на поверхні дисків-оригіналів з неорганічним фоторезистом As36Sb4S60. Встановлена наногетерогенна будова стекол і плівок та визначені їх оптичні характеристики – ширина псевдозабороненої зони Eg та показника заломлення n. Показано, що збільшення вмісту Sb у складі плівок та лазерне опромінення призводять до зсуву краю поглинання у довгохвильову ділянку спектру (Eg зменшується, а n зростає) Максимальні зміни оптичних характеристик виявлені для плівок з вмістом сурми 4 ат.%. Зміни оптичних параметрів плівок викликані фотоструктурними перетвореннями, що відбуваються в них при опроміненні

Ключові слова: халькогенідні плівки, спектри пропускання, оптичні характеристики, раманівські спектри, фотоструктурні перетворення

10.24144/2415-8038.2019.46.7-21